[앵커]<br />우리나라와 일본이 손을 잡고 주사전자현미경 공동연구를 시작했습니다.<br /><br />전자현미경 기본 성능 향상은 물론 반도체 분야 등 산업 전반에 많은 도움을 줄 것으로 기대됩니다.<br /><br />이정우 기자입니다.<br /><br />[기자]<br />반도체 공정에 필요한 주사전자현미경.<br /><br />문제는 높은 에너지 조건에서 관찰하면 물성이 변하거나 파괴된다는 점입니다.<br /><br />이 같은 문제 해결을 위해 국내 연구진과 주사전자현미경 세계 1위 기업인 일본 히타치하이테크놀로지즈, HHT가 '차세대 전자현미경' 국제 공동연구에 합의했습니다.<br /><br />[조복래 / 표준과학연구원 첨단측정장비센터장 : 모노크로미터 (레이저 등 전자빔을 하나의 색으로 만드는 방법) 기술을 적용하면 에너지 폭이 줄어들고 이에 따라 전자현미경의 낮은 분해능이 좋아지고 앞으로 반도체의 관찰이나 나노물질의 획기적인 분해능이 기대됩니다.]<br /><br />지난 2015년 HHT 지원으로 시작한 '전자빔 모노크로미터' 기초연구가 기술력을 인정받아 해당 장비를 HHT 주사전자현미경에 장착하는 공동연구를 시작하는 겁니다.<br /><br />전자빔 모노크로미터는 레이저와 같이 전자빔을 단색으로 만드는 기술로서 나노 물질의 관찰과 분석, 반도체 검사 등에 사용됩니다.<br /><br />[오카와 타가시 / 표준과학연구원 첨단측정장비센터 선임연구원 : 표준연의 전자빔을 단색화시키는 원천기술하고 히타치의 최첨단 제품기술을 합침으로써 반도체를 관찰하는 전자현미경 성능을 획기적으로 향상시킬 수 있는 기술이 기대되고 있습니다.]<br /><br />시료 표면을 관찰하는 주사전자현미경과 시료 내부를 보는 투과전자현미경으로 나뉘는 전자현미경.<br /><br />전자현미경 시장의 63%를 차지하는 주사전자현미경은 주로 생물학이나 반도체, 재료과학 분야에서 물체의 미세구조 관찰이나 정밀측정 시 사용됩니다.<br /><br />[윤동진 / 표준과학연구원 산업측정표준본부장 : 기술들은 히타치의 주요 장비에 적용되어 전 세계에 보급되고 그로 인해 표준과학연구원에 기술이전이나 기술료를 받게 되는 그런 큰 기대효과도 기대할 수 있습니다.]<br /><br />이번 공동연구는 전자현미경의 성능을 한 단계 끌어올려 신재료와 반도체 장치, 새로운 생명현상 연구 등 다양한 분야에서 폭넓게 활용될 전망입니다.<br /><br />YTN 이정우[ljwwow@ytn.co.kr]입니다.<br /><br />▶ 기사 원문 : http://www.ytn.co.kr/_ln/0115_201611292040152202<br />▶ 제보 안내 : http://goo.gl/gEvsAL, 모바일앱, 8585@ytn.co.kr, #2424<br /><br />▣ YTN 유튜브 채널 구독 : http://goo.gl/Ytb5SZ<br /><br />[ 한국 뉴스 채널 와이티엔 / Korea News Channel YTN ]
