일본의 부품과 장비, 소재에 대한 수출 규제로 우리 기업들이 어려움을 많이 겪고 있는데요. <br /> <br />반도체용 불화수소뿐만 아니라 이런 고순도 가스 소재의 품질을 평가할 수 있는 설비도 국산화에 성공했습니다. <br /> <br />국내 반도체용 가스소재 개발에 도움을 줄 전망입니다. <br /> <br />이정우 기자입니다. <br /> <br />[기자] <br />반도체 원판인 웨이퍼의 세정과 식각 공정에는 불화수소가 사용됩니다. <br /> <br />그러나 고순도 불화수소는 일본 업체가 세계시장을 독점하고 있어 지난해 일본의 수출 규제 이후 국내 기업들이 어려움을 겪고 있습니다. <br /> <br />이런 가운데 국내 연구진이 불화수소 같은 고순도 가스 소재에 대한 품질을 정확하게 평가할 수 있는 설비를 구축했습니다. <br /> <br />[오상협 / 한국표준과학연구원 가스분석표준그룹 : 객관적인 품질 평가를 못 하는 거죠. 이때까지. 그래서 저희가 객관성을 가지고 품질을 평가하는 기술을 개발해서 평가를 해드리겠습니다.] <br /> <br />반도체용 불화수소를 시작으로 20여 종의 고순도 가스를 대상으로 시험검사 서비스를 제공한다는 계획입니다. <br /> <br />불화수소 품질 평가는 액체 상태의 불화수소를 기체로 만들어 가스 성분을 분석하는 방식으로 이뤄집니다. <br /> <br />적외선 분석기와 질량분석기 등을 사용해 20여 종의 금속성분 불순물을 분석해 최종 순도를 결정합니다. <br /> <br />무엇보다 우리 기술로 측정기술과 표준물질을 개발했다는 점에서 의미가 더욱 큽니다. <br /> <br />[정진상 / 한국표준과학연구원 가스분석표준그룹장 : 국내 경쟁력 강화 정책을 지원하기 위해서 저희 연구원은 반도체용 가스 소재의 수입 다변화 및 국산화를 지원해 주기 위한 연구를 수행하고 있습니다.] <br /> <br />연구진은 내년 상반기까지 표준 시험절차서를 만들고, 20여 종에 대한 가스소재 분석법을 개발해 국내 기업의 기술 자립화를 지원하기로 했습니다. <br /> <br />YTN 이정우[leejwoo@ytn.co.kr]입니다. <br /> <br /> <br /> <br /> <br />※ '당신의 제보가 뉴스가 됩니다' YTN은 여러분의 소중한 제보를 기다립니다. <br />[카카오톡] YTN을 검색해 채널 추가 [전화] 02-398-8585 [메일] social@ytn.co.kr [온라인 제보] www.ytn.co.kr<br /><br />▶ 기사 원문 : https://www.ytn.co.kr/_ln/0115_202009250101102530<br />▶ 제보 안내 : http://goo.gl/gEvsAL, 모바일앱, social@ytn.co.kr, #2424<br /><br />▣ YTN 데일리모션 채널 구독 : http://goo.gl/oXJWJs<br /><br />[ 한국 뉴스 채널 와이티엔 / Korea News Channel YTN ]
