반도체 핵심 제조장비 국산화…특허청이 앞장선다<br /><br />[앵커]<br /><br />외국에서 선도하고 있는 기술을 국산화하는 데에는 어려움이 따릅니다.<br /><br />특히 반도체 분야의 경우 세밀한 부분까지 특허 등으로 기술을 보호하고 있는데요.<br /><br />특허청이 이런 반도체 핵심장비에 대한 국산화에 팔을 걷어붙였습니다.<br /><br />이호진 기자입니다.<br /><br />[기자]<br /><br />경기도 이천의 한 반도체 제조장비 생산업체입니다.<br /><br />반도체 웨이퍼가 가득 담긴 박스가 기계 안에서 자동으로 돌아갑니다.<br /><br />이 기계 안에서는 웨이퍼 표면에 각종 가스를 분사해 얇은 막을 증착시키는 설비가 들어 있습니다.<br /><br />반도체 제조 공정에서 반드시 필요한 원자층 증착 장치입니다.<br /><br />그동안 외국산 장비에 의존해 왔는데, 국내 기업이 최초로 국산화에 성공했습니다.<br /><br />이 기술 국산화에는 특허청과 기업 간의 협업이 중요한 역할을 했습니다.<br /><br />이 기업은 특허청의 특허 기반 연구개발 사업에 참여해 특허분석을 통해 핵심부품 구조에 관한 설계 아이디어를 얻었고, 장비 성능 개선을 위한 연구개발 방향과 분쟁 예방전략을 동시에 지원받았습니다.<br /><br />이를 통해 특허분쟁의 우려가 없는 기술 개발에 성공했고, 박막공정 장비 분야 우수특허 10건을 확보했습니다.<br /><br /> "선진 업체들의 기술 발전 동향, 이런 것을 파악을 하고 나름대로 우리 기술을 핵심 특허화하는 데 많은 도움을 얻어서…"<br /><br />특허청은 기술 국산화와 특허분쟁을 피하기 위해 연구개발 초기 단계부터 전 세계 특허정보를 분석했습니다.<br /><br />또 특허기술 공백 영역에 대한 유망 특허 선점 등도 지원했습니다.<br /><br /> "차세대 반도체를 포함한 국가전략기술을 확보를 하고 핵심특허 부분을 선점해야 하기 때문에 IP R&D를 확대를 하고 이를 통해 세계 시장에 나갈 수 있도록…"<br /><br />특허청은 반도체 분야뿐만 아니라 이차전지, 바이오 등 국가전략기술분야로 정책을 확대해 나갈 계획이라고 밝혔습니다.<br /><br />연합뉴스TV 이호진입니다. (jinlee@yna.co.kr)<br /><br />#반도체장비 #국산화 #특허청 #특허출원<br /><br />연합뉴스TV 기사문의 및 제보 : 카톡/라인 jebo23<br /><br />(끝)<br /><br />
